Если хотите получать точные и надежные результаты с содержаний >5% масс., то лучший вариант - руки хорошего аналитика, т.е. химические методы анализа - гравиметрия, титриметрия.
Далее по точности идут многоканальные ICP-OES, достижимые ошибки ~1% отн. Легкие элементы, а тем более высокие содержания ICP-MS делать не советовал бы, ICP-OES для этой задачи чувствительнее и точнее, в ICP-MS помимо прочего, куча проблем в легкой зоне из-за изобарных полиатомных помех.
Микрозонд - микрозонду рознь, при наличии стандартов и правильной калибровке, пробоподготовке образцов, Be, B, N, O, F - не представляют проблем для современного оборудования, даже в варианте EDS. Для "определение" Li может быть произведено новым поколением безоконных детекторов, типа X-Treame. На самом деле на современных приборах пик Li видно, но так К серия лития это строго говоря не рентген, а переход с внешних оболочек, связь интенсивности с концентрацией имеет сложный характер, но при наличии образца сравнения анализ сделать можно.
Лазеры-ICP, SIMS - это все-таки скорее методы качественного и изотопного, а не количественного анализа.
У меня имеется ICP-OES, ICP-MS, Микрозонд и (много чего другого) я химик-аналитик.
