Анализ, очевидно, выполнен методом РЭМ-РСМА(ЭД), я таким занимаюсь каждый день.
Образцы действительно покрывают электропроводящим покрытием - углеродом или металлами, при этом сигнал углерода всегда вносит дополнительный вклад кислорода, особенно если напыление производится термоиспарением в среде разреженной атмосферы (к напыляжке не подведен аргон или азот), т.к. на поверхности образуются окислы.
Если образцы неполированные, то анализ можно считать качественным в силу геометрических факторов, влияние которых существенно изменяет интенсивности линий, особенно для легких элементов, т.к. в спектре присутствуют только К линии, так что коррекция наклона по K-L сериям невозможна, и мягкий рентген существенно поглощается образцом. Таким образом, это вероятнее всего корунд.
Однако, необходимо учитывать, что РСМА не определяются: водород, литий и бериллий, а также элементы, линии которых не возбуждаются при текущих значениях ускоряющего напряжения.
